电动真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管,保证十万次以上的循环使用,轴向驱动力可达到150N,在保证超高真空密封的同时,通过电机驱动,实现高精度的直线驱动,位置控制,安装角度自由;根据客户要求,可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构,客户根据使用要求选用。 主要参数 | 适用范围: | 105~5x10-7Pa | 真空漏率: | ≤1x10-10Pa.m3/s | 适用温度: | -30~300℃ | 驱动方式: | 电动 | 驱动方向: | 直线 | 安装状态: | 任意方向 | 连接方式: | CF法兰或客户指定 | 主要零件材料 | 焊接波纹管 | 316L | 刻度圆柱 | 304 | 进给刻度盘 | LV12阳极化 |
|